Kính hiển vi điện tử quét SEM EVO 10 ZEISS - Đa năng, chính xác, dễ dùng
Tên thiết bị: Kính hiển vi điện tử quét SEM
Model: EVO 10
Hãng sản xuất: Carl Zeiss
Xuất xứ: Đức
Tên tiếng Anh: Scanning Electron Microscope – ZEISS EVO 10
Tên gọi khác: Kính hiển vi điện tử quét EVO 10, SEM ZEISS EVO 10, kính hiển vi quét SEM Carl Zeiss, kính hiển vi điện tử quét EVO 10, kính hiển vi quét dạng điện tử
Giới thiệu thiết bị kính hiển vi điện tử quét SEM ZEISS EVO 10
Kính hiển vi điện tử quét ZEISS EVO 10 hay thường gọi với tên là kính hiển vi quét SEM là thiết bị chuyên dụng, tối ưu được thiết kế bởi hãng Carl Zeiss - một trong những thương hiệu hàng đầu thế giới về thiết bị quang học và hình ảnh khoa học. Với khả năng thu thập và tạo ra ảnh có độ phân giải cao từ nhiều loại mẫu vật, và trong số đó nổi bật là mẫu không dẫn điện và không tráng phủ, thiết bị này được đánh giá cao trong các phòng thí nghiệm, trung tâm nghiên cứu, cũng như nhà máy sản xuất công nghiệp.
ZEISS EVO 10 được điều khiển bởi phần mềm SmartSEM trực quan, dễ sử dụng kể cả với người mới. Đây là lựa chọn lý tưởng cho nhiều lĩnh vực từ khoa học vật liệu, điện tử bán dẫn đến kiểm tra chất lượng trong ngành công nghiệp. Cùng ICG đơn vị phân phối, có đội ngủ kỹ thuật triển khai chuyển giao tốt nhất về thiết bị này, tham khảo những ưu nhược điểm của nó nhé
Kính hiển vi điện tử quét SEM là gì
ZEISS EVO 10 là dòng kính hiển vi điện tử quét SEM hay Scanning Electron Microscope tạo ảnh của mẫu phân tích bằng cách sử dụng chùm điện tử hẹp quét trên mẫu vật nhằm phục vụ nhu cầu từ nghiên cứu và phân tích hình ảnh vi mô ở cấp độ nano.
Dòng sản phẩm kính hiển vi của Carl Zeiss trang bị nguồn phát chùm điện tử Tungsten kết hợp khả năng điều chỉnh điện áp từ 0.2 – 30 kV, thiết bị cho ra ảnh có độ sắc nét cao lên tới 3 nm.
Điểm mạnh lớn nhất của thiết bị là sự thân thiện với người sử dụng – từ giao diện phần mềm cho đến khả năng điều hướng trực quan.
Ứng dụng của kính hiển vi quét SME EVO 10
Kính hiển vi điện tử quét EVO 10 được ứng dụng rộng rãi trong nhiều lĩnh vực nghiên cứu và sản xuất công nghiệp, cụ thể như:
- Trong ngành sản xuất & lắp ráp: Thiết bị hỗ trợ kiểm soát chất lượng (QA/QC), phân tích lỗi trong dây chuyền sản xuất, kiểm tra độ sạch bề mặt vật liệu, phân tích hạt đáp ứng các tiêu chuẩn ISO 16232 và VDA 19 phần 1 & 2...
- Ngành bán dẫn & điện tử: EVO 10 là công cụ kiểm tra vi mạch, thiết bị MEMS, chụp ảnh bề mặt tụ điện, cấu trúc tinh thể của dây đồng, phân tích ăn mòn kim loại ...
- Lĩnh vực kim loại và thép: Chụp ảnh và phân tích cấu trúc, hóa học và tinh thể học của các mẫu kim loại và tạp chất, phân tích hạt,...
- Nghiên cứu khoa học vật liệu: Với khả năng xử lý cả mẫu dẫn điện lẫn không dẫn điện, thiết bị cho phép nghiên cứu vật liệu ở độ phóng đại cao, chi tiết.
- Khoa học sự sống: Nghiên cứu mô thực vật, động vật, vi sinh vật và cấu trúc vi mô sinh học.
- Pháp y – điều tra hình sự: Phân tích dư lượng đạn súng (GSR), kiểm tra sơn, thủy tinh, tiền giả, sợi tóc và độc chất học pháp y.
Tính năng nổi bật của kính hiển vi điện tử quét EVO 10 Carl Zeiss
- Độ phân giải cao: 3 nm @ 30 kV SE – chụp rõ cả cấu trúc mẫu
- Phóng đại lên đến 1.000.000 lần: Điều chỉnh liên tục đồng thời chỉnh vĩ và vi cấp.
- Buồng mẫu lớn, bàn mẫu xoay 5 trục: Hỗ trợ thao tác chính xác và linh hoạt.
- Phần mềm SmartSEM trực quan: Dễ sử dụng, điều khiển toàn diện các chức năng thân thiện
- Đầu dò đa dạng (ETSE, BSD, EDS): Hỗ trợ nhiều loại đầu dò khác nhau, tùy thuộc các vật mẫu nghiên cứu
- Tự động hóa quy trình và lưu trữ dữ liệu: Tối ưu cho môi trường làm việc chuyên nghiệp.
Thông số kỹ thuật kính hiển vi điện tử quét SME EVO 10 Carl Zeiss
Cấu tạo thiết bị
- Buồng mẫu và cột bắn luồng điện tử.
- Bàn mẫu xoay 5 trục.
- Hệ thống bơm tự động.
- Phần mềm điều khiển.
Hiệu suất quang học
Hạng mục | Thông số |
Độ phân giải | 3 nm @ 30 kV SE |
Nguồn phát chùm điện tử | Tungsten |
Điện áp gia tốc | 0.2 – 30 kV (liên tục điều chỉnh) |
Cường độ dòng dò | 0.5 pA – 5 µA |
Dải phóng đại | 7x – 1.000.000x (liên tục, chỉnh vĩ & vi cấp) |
Khoảng cách làm việc của thấu kính | 2 – 100 mm |
Điều chỉnh tiêu cự | Tự động hoặc bằng tay |
Trường quan sát ảnh | 6 mm @ 8.5 mm WD; tối đa 20 mm ở WD xa nhất |
Chế độ điều hướng hình ảnh | Trường quan sát rộng + độ sâu ảnh lớn |
Buồng mẫu và bàn mẫu kính hiển vi quét SME EVO 10
Hạng mục | Thông số |
Kích thước buồng | Ø 310 x H 220 mm |
Số cổng kết nối | Tối đa 8 cổng |
Chiều cao mẫu tối đa | 100 mm |
Góc nghiêng | 350° |
Bàn mẫu xoay 5 trục | X: 80 mm, Y: 100 mm, Z: 35 mm, T: -10° đến +90°, R: 360° |
Độ lặp lại bàn mẫu | 2 µm |
Cảnh báo va chạm | Có âm báo chống va chạm khi thao tác bàn mẫu |
Hệ thống đầu dò khả dụng
Loại đầu dò | Chức năng |
ETSE (Everhart-Thornley) | Thu tín hiệu điện tử thứ cấp (SE) |
BSD | Điện tử tán xạ ngược |
EDS (X-ray) | Phân tích nguyên tố hóa học |
Hệ thống vận hành tích hợp của kính hiển vi điện tử quét SEM
Hạng mục | Thông số |
Hệ điều hành | Microsoft Windows 10 (bản quyền) |
Phần mềm điều khiển | SmartSEM™ – Điều chỉnh toàn bộ hệ thống SEM |
Hệ thống hiển thị và ghi ảnh
Hạng mục | Thông số |
Màn hình | Độ phân giải 1024 x 768 pixel |
Kết nối màn hình phụ | Có thể nâng cấp để thêm màn hình thứ hai |
Công cụ đo lường | Tùy biến: chiều dài, góc, diện tích, khoảng cách... |
Định dạng ảnh | TIFF, BMP, JPEG |
Độ phân giải ảnh | Tối đa 30k x 24k pixel, 16-bit |
Tốc độ quét | 15 mức |
Hệ thống phổ tán xạ năng lượng tia X (EDS – SmartEDX)
Hạng mục | Thông số |
Mode: | SmartEDX |
Loại đầu dò | Silicon Drift (SDD) |
Công nghệ làm mát | Peltier (LN - Free) |
Vùng hoạt động | 30 mm² |
Cửa sổ đầu dò | Silicon Nitride (Si₃N₄) |
Khoảng nguyên tố phát hiện | Be (Z=4) – Am (Z=95) |
Độ phân giải năng lượng | 129 eV cho Mn Kα |
Tỷ lệ đếm đầu vào | Tối đa 1.000.000 CPS |
Tỷ lệ đếm đầu ra | Tối đa 300.000 CPS |
Phân tích định lượng | Không cần mẫu chuẩn (Standardless), ZAF corrected |
Phân tích đa điểm, lập bản đồ nguyên tố | Có (CPS hoặc số lượng - Quant) |
Tài liệu kỹ thuật của thiết bị kính hiển vi điện tử quét SME EVO10
- Tài liệu Tiếng Việt kính hiển vi điện tử quét (sem) pdf
- Tiếng Anh
Hình ảnh thực tế của thiết bị
Để biết thêm chi tiết kính hiển vi điện tử quét SEM giá bao nhiêu hay nguyên lý hoạt động của kính hiển vi điện tử vui lòng liên hệ:
CÔNG TY CỔ PHẦN KHOA HỌC VÀ ĐỔI MỚI CÔNG NGHỆ ICG
- Địa chỉ: Tầng 14, Tòa Nhà HM Town, 412 Nguyễn Thị Minh Khai, Phường 05, Quận 3, TP Hồ Chí Minh, Việt Nam
- Hotline: 0865 958 468
- Email: info@icgscitech.com.vn